В зависимости от потребностей, SPTS предлагает различные транспортные платформы, которые могут использоваться в массовом, пилотном производствах и R&D применениях. Платформа fxP –  кластер с возможностью установки до 6 различных технологических модулей. Два загрузочных шлюза. Возможность одновременной работы с двумя типоразмерами пластин.  Можно сконфигурировать под массовое производство или совместить в одном кластере несколько технологических процессов для получения … Читать далее Транспортные платформы